檢索結果：共8筆資料 檢索策略： "曝光".ckeyword (精準) and cdept.raw="機械工程系"
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目前在半導體與PCB影像轉移製程上，都朝向直接成像的曝光系統上進行開發突破，以節省製作光罩所需要耗費的高成本與製作時間長的缺點，故本實驗室一直都積極的研發DMD動態無光罩系統。 由於DMD…
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本論文為研究以近接曝光製作微結構應用於光學增亮膜之方法，利用兩種不同的光阻：JSR與AZP4620，個別探討其特性。針對負光阻JSR，利用TracePro模擬軟體建構出光學系統，以不同外型尺寸的結構…
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本論文使用立體光罩(3D-mask)與近接式曝光(proximity exposure)製作圓錐型微探針陣列(micro-probe array)模仁。根據熱熔法(thermal reflow)的限…
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本研究在研製複合型光學微結構以提供較佳之導光性能，主要是利用微機電系統技術(Micro -Electro-Mechanical System, MEMS)配合光學司乃耳定律(Snell’s Law)…
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本研究利用接觸式曝光與微透鏡光罩製作出金字塔形微針陣列，由幾何光學理論推導出微透鏡之聚焦長度公式，分別為光路計算公式與造鏡者公式，並以光學模擬(Tracepro 7.5)分析結果當作基準值，使用光線…
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本研究利用接觸式曝光與微透鏡光罩製作微針陣列模仁。當平行紫外光透過微透鏡光罩，使光線在光阻上呈現發散，而製作出微針陣列凸模仁。首先，以幾何光學推導接觸式曝光系統中微透鏡聚焦長度之光路預測公式，並與造…
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本研究主要以近接曝光微影術（UV-proximity printing）來進行製作微光學元件：微透鏡或微透鏡陣列、光波導。另外，以田口方法穩健化設計結合類神經網路(ANN)和基因演算法(GA)建立高…
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為了使病患在注射時不易感到疼痛，有許多文獻探討了微針陣列 的幾何設計及製作，但鮮少有針對動態穿刺破壞力去探討。本研究透 過有限元素軟體分析，針對八角形、六角形、圓錐形及金字塔形之基 底進行動態穿刺力…